記者｜張喬遇

半導體前道設備的國產化進程一直備受關注。截至2023年末，前道量檢測設備的國內企業(yè)市場份額約為5%，在主要半導體前道設備里，僅高于光刻機的國產化程度。無錫卓?？萍脊煞萦邢薰荆ê喎Q：卓?？萍迹?/span>作為行業(yè)參與者，正試圖在這樣的市場環(huán)境中突圍。

近日，二手設備修復廠商卓?？萍?/span>創(chuàng)業(yè)板上市被否后，又將目光瞄準北交所。

此前深交所對于卓?？萍缄J關創(chuàng)業(yè)板IPO所需要具備的技術先進性及創(chuàng)新性持懷疑態(tài)度，多次要求公司說明自身業(yè)務是否符合創(chuàng)業(yè)板定位。最終卓?？萍?/span>以不符合發(fā)行條件、上市條件或信息披露要求上會被否，該次IPO歷時半年。

前次IPO終止后的兩年時間里，卓?？萍紭I(yè)務發(fā)展迅速，營業(yè)收入年復合增長率達21.70%，且自研設備應力測量設備、方塊電阻設備、反射光譜厚膜測量儀等3款產品已實現(xiàn)商業(yè)化。界面新聞注意到，卓?？萍荚谶@期間大量申請專利超30項，此次闖關北交所，其自研設備的收入占比有所增長，但超過90%收入仍依靠修復設備貢獻。

目前公司自研設備仍采用委外生產模式。卓?？萍紡亩衷O備修復邁向自研設備自主生產，仍面臨諸多挑戰(zhàn)。

同樣募投項目計劃融資額大增

此次IPO，在律師事務所與會計師事務所維持不變的情況下，卓?？萍紝⒈Ｋ]機構從光大證券更換為海通證券。除此之外，公司募資額也較前次出現(xiàn)了大漲。

闖關創(chuàng)業(yè)板時，卓?？萍?/span>計劃募集資金5.47億元，投資項目分別為半導體前道量檢測設備產業(yè)化項目、研發(fā)中心建設項目和補充流動資金。本次闖關北交所投資項目不變，但募集資金金額增至7.00億元，對應半導體前道量檢測設備產業(yè)化項目、研發(fā)中心建設項目、補充流動資金募集資金同比分別增加92.72%、9.39%和15.08%。

半導體前道量檢測設備產業(yè)化項目實施期均為3年，但卓?？萍?/span>并未對募投資金大幅增加的原因作出解釋。

值得注意的是，半導體前道量檢測設備產業(yè)化項目投資概算中，人工費用未有太大變化，設備購置費從642萬元增加至2070萬元，建筑工程費中新增7470萬元毛坯建設，此外還提到了一筆土地購置費1120萬元。卓?？萍贾赋?，本項目預計稅后項目投資內部收益率為15.69%，稅后投資回收期為6.02年。

研發(fā)中心建設項目的具體投資也有所改變，前次IPO更多的重點放在設備購置上，擬募集1.38億元用于設備購置，本次研發(fā)中心建設項目減少至3280萬元，主要購置用于高精度暗場缺陷檢測設備、高精度顆粒檢測設備等，而高達1.63億元用于研發(fā)費用。卓海科技將使用位于無錫市新吳區(qū)的22.4畝土地作為研發(fā)中心建設項目用地。

去年毛利率大降

成立初期，卓海科技主要從事半導體設備的技術服務及貿易業(yè)務。2011年聚焦前道量檢測設備市場，并逐步從事前道量檢測設備修復業(yè)務，2020年開始組建整機自研團隊。

2022年至2024年，卓?？萍嫉臓I業(yè)收入分別為3.14億元、3.81億元和4.65億元；凈利潤分別為1.19億元、1.32億元和1.04億元。

卓?？萍紙蟾嫫诟髌诰?2%以上收入來自修復設備，自研設備自2023年創(chuàng)收，2023年、2024年收入分別為509.65萬元、1214.96萬元，占主營業(yè)務收入不足3%。此外還有部分零部件和技術服務收入。

卓?？萍?/span>目前從事的大部分工作系對退役設備進行功能修復和精度修復，使退役設備完全恢復至全新出場時的功能和技術參數(shù)，供給芯片產線使用。

需要指出的是，卓海科技部分型號修復設備在采購環(huán)節(jié)，因競購方較多，采購價格較高。然而，受下游需求影響，設備銷售價格并未顯著上漲。受此影響，疊加半導體行業(yè)景氣度等因素作用，前道量檢測修復設備2024年毛利率從上年的61.09%大幅下滑至46.49%，2024年出現(xiàn)增收不增利的情況。

在A股市場中，前道量檢測設備廠商主要以中科飛測（688361.SH）、精測電子（300567.SZ）控股子公司上海精測、中微公司（688012.SH）參股子公司睿勵儀器等企業(yè)為主，但均主要從事前道量檢測設備的研發(fā)生產，與卓海科技不屬于同一模式，目前還沒有與卓?？萍纪耆恢碌纳鲜泄尽?/span>

關于創(chuàng)業(yè)板定位及核心技術是卓?？萍荚?/span>前次IPO時被重點關注的問題。北交所定位為服務創(chuàng)新型中小企業(yè)、重點支持先進制造業(yè)和現(xiàn)代服務業(yè)等領域的企業(yè)，推動傳統(tǒng)產業(yè)轉型升級。關注包括技術創(chuàng)新或模式創(chuàng)新、研發(fā)投入與科技成果轉化等情況。

卓海科技所從事的半導體前道量檢測設備屬于“過程控制設備”，在控制芯片良率、評判工藝方案優(yōu)劣方面作用顯著。前道量檢測設備具有精密度高、結構復雜、技術難度大、品類眾多的特點，目前國內的產業(yè)化尚處于起步階段，中國企業(yè)在前道量檢測設備市場所占市場份額處于較低水平，僅5%（約1.76億美元），大量的企業(yè)根據(jù)自身需要依靠境外KLA、AMAT、Hitachi等國際原廠采購和境內采購修復設備滿足需求。

截至2025年2月末，卓?？萍甲匝性O備在手訂單為2486.05萬元，自研業(yè)務下游客戶涵蓋士蘭微、捷捷微電、比亞迪、格力等。

值得注意的是，對于自研設備、核心組件及零部件，卓海科技生產均通過委外加工進行，公司主要進行設計環(huán)節(jié)，形成圖紙、特定參數(shù)等核心技術方案。

兩年內新增的71項專利含金量夠嗎？

根據(jù)此前披露招股書，截至2022年6月30日，卓海科技共擁有25項專利權，其中發(fā)明專利8項，其余17項為實用新型專利，均為原始取得。

北交所發(fā)行上市審核動態(tài)第11期已對擬IPO企業(yè)的創(chuàng)新特征作出多項規(guī)定。北交所指出，在該所申報發(fā)行上市的企業(yè)，原則上應當符合三項基本指標要求。其中一項要求企業(yè)通過獨立或合作研發(fā)形成知識產權成果，并將其應用于公司主營業(yè)務。

具體而言，通常需擁有3項以上Ⅰ類知識產權或52項以上軟件著作權。截至2024年6月底，249家北交所上市公司平均每家擁有22項發(fā)明專利。

數(shù)據(jù)來看，在2022年6月30日至2024年末，卓?？萍嫉膶＠麢鄶?shù)量大幅攀升至96項。其中，發(fā)明專利增加到44項，實用新型專利增加到52項。盡管卓?？萍荚缭?009年便已設立，但其99%以上的專利都是在2019年及之后申請的，最早的一項專利申請是在2018年。

招股書顯示，卓?？萍家丫邆?2英寸規(guī)格、14nm先進制程的部分設備修復能力，公司秉承“修研并舉，雙線發(fā)展”的發(fā)展模式。根據(jù)此前披露問詢函，卓?？萍己诵募夹g主要是設備修復的技術提升，更多來自日常生產過程中經(jīng)驗和修復技術的持續(xù)積累。生產過程主要包括對退役設備的故障診斷、功能修復、精度恢復、產線適配等，主要系生產人員憑借技術經(jīng)驗，結合退役設備各類問題的具體顯現(xiàn)表征定位問題所在，針對存在的配件缺失、損壞、老化、功能異常、精度不佳的具體問題及產險適配需求，通過維修、增加配件、調試、校準等方式實現(xiàn)。

前次IPO之后，卓?？萍忌暾埖膶＠蠖嗯c自研設備相關，共計82項，其中發(fā)明專利41項。此外，還形成了18項與自研設備相關的軟件著作權。雖然專利數(shù)量顯著增加，但這些專利是否真正轉化為商業(yè)價值，仍有待考證。

同時，與之形成鮮明對比的是，卓海科技的研發(fā)投入仍處于較低水平。2022年至2024年，卓?？萍嫉难邪l(fā)費用分別為1508.33萬元、2842.14萬元和3369.13萬元，占營業(yè)收入的比重分別為4.81%、7.46%和7.25%。

2022年及2023年，中科飛測的研發(fā)費用率分別為40.40%和25.26%；精測電子的研發(fā)費用率分別為21.02%和26.37%。相比之下，卓?？萍嫉难邪l(fā)投入不高，公司稱，自身的研發(fā)方向側重于修復技術的提升，與中科飛測等以自研設備為基礎開展的用于支持整機開發(fā)的業(yè)務模式有所區(qū)別。